Baumaterialien, die ausgewählt wurden, um die hohen Anforderungen von Reinraumumgebungen zu erfüllen, müssen bestimmte strenge Kriterien erfüllen, darunter die Minimierung der Partikelproduktion, die Minimierung der statischen Aufladung, die Beständigkeit gegen das Wachstum von Chemikalien und Mikroorganismen sowie die Beständigkeit gegen das Wachstum von Chemikalien und Mikroorganismen. Zu den gängigen Reinraummaterialien gehören Edelstahl, Epoxidharze, Hochdrucklaminate und nicht ablösende Beschichtungen, die dazu beitragen, eine Umgebung mit kontrollierten Bedingungen zu gewährleisten, in der empfindliche Prozesse ablaufen können, ohne durch Verunreinigungen beeinträchtigt zu werden, die von außen eindringen.